二手 EBARA Frex 300 #293606132 待售
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單擊可縮放
ID: 293606132
晶圓大小: 12"
優質的: 2001
CMP System, 12"
EFEM (Load/Unload):
(4) ASYST Load ports
YASKAWA Electric robot
Position control: Motor + Ball screw
Dry robot
Wafer transfer:
(2) Turn overs (R/L Side)
(2) Pushers (R/L Side)
(4) LTP Linear stages (R/L Side)
(2) Lifters (R/L Side)
Wafer stage (R/L Side)
Wet robot
Polishers:
(2) Top ring normal heads
(2) Buffing tables
Slurry line
Chemical (CL) connection
Return Line
(2) Dressers (R/L Side):
Diamond pattern type
Disk type: Plate
(2) Tables (R/L Side):
Material stainless steel
Lapping surface
Motor
(2) Cleaners:
1st Cleaner:
(2) Roll scrubs
(2) Megasonics
Wafer roller: Duro 90
SC-1 < 60°C
2nd Cleaner (Pencil and SRD Unit):
(2) Roll scrubs
Megasonic
Power control unit:
Power control
(4) Drivers:
Head rotation
Head swing
Operation controller (ETC):
Hardware:
VME Bus, board computer
Main CPU: 68 Series 32 Bit
2001 vintage.
EBARA Frex 300是先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備。它設計用於生產單面和/或雙面拋光晶片，對表面粗糙度、表面平坦度和厚度進行嚴格控制。該系統在執行超精確研磨、研磨或拋光操作時提供了出色的可控性。EBARA FREX-300具有先進的數字控制單元,可在操作過程中精確控制研磨、研磨或拋光過程。它包括一個大功率的索尼主軸電機，提供平滑，低振動和高速旋轉，幫助確保統一的結果。該機還具有先進的空氣軸承，可進行平滑、無振動的研磨、研磨或拋光操作。F-REX300操作在帶有三軸舞臺模塊的六軸機器人運動工具上。強大的機器人資產提供精確和可重復的自動研磨、研磨或拋光操作,以實現可重復的結果。全封閉機器人運動模型，增強過程控制和安全性。設備包括可用於定制研磨、研磨或拋光操作的集成軟件組件。集成軟件使研磨參數的定制變得簡單快捷。它還具有直觀的用戶界面，便於控制和監控系統操作。此外,該軟件還包括一個數據存儲單元,使用戶能夠存儲過去研磨和/或拋光操作中的數據,以供以後查看。該機配備了廣泛的研磨、研磨和拋光消耗品。消耗品旨在提供一致和可重復的結果。磨削工具由多種材料制成，可用於粗磨、精磨、研磨和拋光等不同操作。研磨和拋光工具由陶瓷和多晶金剛石等具有彈性的材料制成，確保了均勻的效果。EBARA F-REX300還具有兩種不同的特定於應用程序的組件：可選的磨料存儲盒和拋光盒。磨料盒的設計便於研磨材料的裝卸。拋光盒設計用於提供均勻的拋光劑應用，從而獲得準確、可重復的結果。Frex 300是一款功能強大的晶圓研磨、研磨和拋光工具，旨在提供晶圓研磨、研磨和拋光過程的精確控制。它具有先進的數字控制資產、大功率索尼主軸電機、空氣軸承和機器人運動模型、集成的軟件組件以及一系列磨削、研磨和拋光耗材。這兩個特定於應用程序的盒式磁帶便於裝卸研磨材料和拋光劑，提供一致和可重復的結果。
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