二手 EBARA Frex 300 #293641964 待售

EBARA Frex 300晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種用於拋光和研磨各種晶圓材料的自動化系統。該單元包括一個A6k-XP高速主軸，最大轉速為60,000 RPM，並配有磨削和拋光兩個軸。晶圓研磨機精密研磨具有亞微米精度，具有提高效率和元件質量的特點。這包括真空裝置、風冷主軸、皮帶研磨、可選的軌道自動裝卸能力、逐項實時元件信息、水溫控制和計時器。EBARA FREX-300旨在有效加工直徑為200 mm和300 mm的晶片、多材料晶片類型以及硬質和粘性基板。它配有可調地毯和拋光墊，以容納大於晶圓直徑尺寸的樣品尺寸。高速主軸確保了快速而精確的研磨過程，而皮帶機則確保了快速高效的物料轉移。此外,可選的自動加載/卸載功能允許在無需手動幹預的情況下快速加載和卸載多個晶片,從而提高了生產率並降低了人工成本。該工具包括一個高精度CCD傳感器，用於檢測元件邊緣位置，從而優化磨削和拋光工藝。變速主軸可以減少元件損壞，因為它可以調整速度以適應不同的晶圓材料和厚度。控制單元配有圖形用戶界面，便於資產的管理和監控。內置溫度控制模型可減少熱磨損並保護晶片不會過熱。F-REX300晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種設計精良的系統,能夠準確高效地處理各種材料和基材尺寸。其精確的CCD邊緣檢測傳感器和變速主軸使設備能夠實現高精度的結果，減少部件的損壞。其可選的自動加載/卸載功能和圖形用戶界面使機器成為生產自動化和實驗室應用的理想選擇。