二手 EBARA Frex 300 #293707331 待售

EBARA Frex 300是一款功能強大的晶片研磨、研磨和拋光設備，設計用於在包括Si、SiC和GaAs在內的多種半導體晶片上產生極其精確的平坦表面。該系統具有雙磨頭,可處理高達12英寸的晶圓,快速進料速率高達0.1µm/s。EBARA FREX-300配備了精確對準裝置，以確保最佳的水平和更高的產量。Frex有一個真空安裝的主研磨主軸，允許靈活的雙研磨頭的運動為優越的晶圓質量和改進的表面光潔度。該機還采用動態水冷卻器和集成激光幹涉儀來監測切削深度和晶圓的平坦度。F-REX300的磨頭配備了強大的伺服電機，能夠以30m/min的峰值速度驅動磁頭。這些電機提供了+/-25 µm的優越晶圓定位精度，允許精密研磨和拋光。FREX-300配備了智能控制資產和觸摸屏,以實現簡單直觀的操作。該型號還包括數據管理設備和用戶友好的觸摸屏界面。這允許用戶存儲流程參數和日誌數據以進行統計流程控制。F-REX 300是一種高度耐用和可靠的系統，設計用於各種應用的精確度和長期使用。該單元符合晶圓加工的SEMI標準，並為最高精度和可重復性而設計。Frex 300以其卓越的性能，是先進半導體器件制造中晶圓研磨、研磨和拋光的理想機器。