二手 EBARA Frex 300 #293743768 待售

EBARA Frex 300是一種先進的全自動晶片研磨、研磨、拋光設備，用於制造半導體晶片。復雜的系統包括兩個獨立的流程模塊，每個模塊都可以配置為獨立或按順序運行。該單元為任何類型的晶片基板，如矽、單晶矽和絕緣膜提供了改進的晶片表面制備能力。集成雙模塊方法允許用戶選擇適合給定晶片的最佳加工條件,從精密研磨到高精度研磨再到超細拋光。它旨在通過高效管理各種晶圓預處理技術來節省時間和提高吞吐量。研磨模組由高扭矩、可調速度的電動機與研磨輪耦合，用於晶圓的精密成形。砂輪可以用特定的研磨參數進行編程，以達到所需的表面光潔度，使其成為復雜形狀的理想選擇。磨削模組利用具有精確輪廓反饋機制的可調力機構，以保持精確的表面粗糙度，參數非常緊。研磨模組旨在消除表面缺陷並提供光滑、均勻的表面光潔度。機器采用精密的壓力控制工具來調整對晶片表面的力，以確保均勻一致的結果。整體反饋資產不斷監控研磨和研磨過程,以獲得一致的結果。平坦度測量也用於確保平坦、無缺陷的表面。拋光模塊對於在晶圓上獲得最佳表面光潔度至關重要。該模塊利用可調節速度的電動機來驅動拋光墊，而可調節力機構則在晶圓表面保持均勻的壓力。該型號配有光學拋光監視器和高分辨率成像設備，對拋光工藝提供無與倫比的控制。EBARA FREX-300是一種用於半導體制造的高度精密、自動化的晶圓研磨、研磨和拋光系統。雙模塊方法和高級反饋單元為用戶提供了對晶片表面制備過程前所未有的控制水平。該機器能夠在短周期內產生具有緊密公差和最小化缺陷的表面。