二手 EBARA Frex 300 #293761442 待售

EBARA Frex 300晶圓研磨、研磨及拋光設備是一種先進半導體制造的多合一加工解決方案。這種最先進的系統能夠進行多軸運動，從而能夠對直徑達300毫米的晶片進行高精度研磨、研磨和拋光。一個發達的轉塔主軸在機器內部減少湍流和創造精確的運動在整個操作，保證高屈服精度和優越的光潔度。在該單元內,使用平整的單面研磨輪精確研磨晶片,以確保輪廓、幾何形狀和尺寸一致。機器中的機械手確保每個晶片的穩定性和可重復性。內置水冷工具用於保持零件在操作過程中冷卻，從而降低熱應力。各種磨輪、圈和拋光都可以使用，並且在作業編程過程中可以快速更換，從而實現最大的靈活性。研磨是使用預編程的旋轉搭檔（稱為「拼盤」）進行的，拼盤中含有磨料以產生較高的平坦度。拋光站設定了獲得光滑和鏡面表面光潔度的最後一步。操作後，資產自動執行質量控制程序，對樣品進行檢查驗證。這是通過將數據與存儲的標準進行比較來完成的,以確保所有參數都在可接受的範圍內。EBARA FREX-300具有高度直觀的圖形用戶界面和符合人體工程學的設計。用戶可以輕松地選擇設置和程序作業。憑借其堅固的設計,維護是最小的,而且無電纜的連接允許快速輕松地進行設置。模型的自我診斷功能可確保所有組件正常工作,從而使操作員能夠監控設備的性能並針對手頭的工作進行優化。F-REX300是高精度磨削、研磨和拋光尺寸達到300 mm的晶片的理想系統。它將準確性、靈活性和可靠性與直觀的用戶界面結合在一起，允許高效、精確的操作。