二手 EBARA Frex 300 #293768436 待售

ID: 293768436
CMP System.
EBARA Frex 300是一種全面的晶圓研磨、研磨和拋光設備,專為堅固、可重復的性能而設計。它為單面或雙面晶片提供了最佳的研磨、研磨和拋光。EBARA FREX-300配備了高速主軸和切削工具,用於精確、可重復的表面平整度和精加工。該系統集成了用戶友好的數字控制界面和模塊化設計,便於維護和維修。其先進的工作區域特點提供了卓越的精確度和精確度。該單元包括兩個獨立的研磨、研磨和拋光支撐臂,允許同時使用兩個磨料工具進行多任務處理。該單元還包括兩個不同的拋光階段,每個階段都配有自己的主軸進行高速、精確拋光和表面拓撲優化。F-REX300還設計用於高速、低摩擦操作,同時最大程度地減少顆粒泄漏。它具有低噪聲電動機、直驅扭矩電動機和高效驅動機器,以提高能效。其先進的除塵和過濾工具只提供了幾毫克的所需顆粒,以滿足潔凈室的要求。EBARA F-REX300還配備了自動對準和校正資產。該模型精確定位並牢固地固定晶片以獲得最佳處理結果。它還提供了支持統計流程控制的綜合數據采集設備,為準確的流程設置提供了寶貴的流程數據。EBARA F-REX 300是一種獨特且具成本效益的晶圓研磨、研磨、拋光系統。它具有尖端技術和精確的結果,以滿足半導體行業的苛刻要求。憑借高效的設計和自動化的過程控制,Frex 300是高效優質晶圓加工的理想選擇。
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