二手 EBARA Frex 300 #293809031 待售

EBARA Frex 300是先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備，在晶圓上提供卓越的表面光潔度。該系統采用剛性結構構建，運行穩定可靠，具有大量元件，處理精度高，通用性強。它既可用於單面和雙面晶圓研磨、拋光和研磨，也可用於各種其他操作。該單元包括一個主磨頭與可變進料主軸和精密機械設計，使精確控制切割和磨料操作。EBARA FREX-300還具有可控進料壓力機,可確保精確的磨削深度,以及精確的材料去除速度和最小的表面損壞。此外，先進的金剛石車輪修整工具提供了金剛石車輪的均勻粒度，提供了精確一致的研磨和圈速效果。該機還包括一個現場研磨測量資產，確保高精度和可重復性，以及一個全面的數據采集模型，記錄關鍵工藝參數。該數據可用於進一步優化研磨和拋光工藝。F-REX300的設計旨在為各種材料（如半導體材料和離軸基板）提供卓越的質量和可靠的性能,提供最佳的邊緣控制和表面質量。該設備具有易於使用的觸摸屏界面，為直觀的控制和操作員提供了方便地訪問主磨頭和研磨頭。此外，EBARA F-REX 300還包括一系列安全功能，如緊急停止按鈕和警衛聯鎖，確保操作員和系統組件的安全。該機還配備了先進的降噪技術，既降低了噪聲水平，又降低了灰塵水平，確保即使在大批量工藝生產中也能達到最佳噪聲水平。總體而言，Frex 300是一款高度精確可靠的高級晶圓研磨、研磨和拋光裝置，為用戶提供了能力和靈活性，以產生高質量的效果。該機適用於廣泛的應用和材料，為操作員提供了最優的過程控制和高精度的過程結果。