二手 EBARA Frex 300 #293816722 待售

EBARA Frex 300是一種最先進的、高度自動化的晶圓研磨、研磨和拋光設備。EBARA FREX-300上復雜的3軸自動化系統可確保在單個晶片批次中獲得精確且一致的結果,從而為您提供所需的任意數量的晶片。F-REX 300的Grinder和Lapper都采用了獨特的三軸機械釋放機構,無需手動操作和其他手動過程。EBARA F-REX 300的磨床最大研磨速度高達95,000 rpm，最小尺寸為40nm，高精度分辨率為± 20nm，是工藝和研發要求的理想選擇。EBARA F-REX 300上的拋光裝置經過設計，可以處理非常精細的晶片，並能產生質量控制的高級表面飾面。拋光的晶片可以達到Ra 2.5 nm的粗糙度和少數埃的平坦度。FREX-300的高精度自動鏡面拋光機確保了一致和高性能的結果。該工具還包括一個標準的扁平研磨工藝,可提供快速、可重復和高質量的研磨結果,其平坦度能力低於0.1 nm （0.3 nm局部平坦度）。有一個可選的預轉資產來支持高端研磨，這樣可以提高圓度精度。集成清潔模型確保設備的所有部件在每個過程之前都是清潔的，沒有顆粒。F-REX 300還配備了晶圓質量控制的工後檢驗模塊。Frex 300的設計采用了先進的滿載灰塵、無灰塵的版本，以滿足潔凈室友好操作的要求。系統也符合SEMI標準，使其適合大批量生產。總之，EBARA Frex 300是高級晶片自動精磨、研磨和拋光的理想裝置。它提供高精度的結果、可重復的性能和較低的缺陷率。