二手 EBARA Frex 300 #293829696 待售

EBARA Frex 300是一款最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於矽、藍寶石等光學材料的研磨、研磨和拋光。該系統提供精確、均勻和高度可預測的結果,因為它在整個研磨和拋光過程中提供多達5軸的多軸控制。該單元采用旋轉臺，由於旋轉臺速度的恒定和精確調整，可實現更高的研磨率和更高的晶片與晶片的一致性。磨床由強大的直流伺服電動機驅動，確保精密研磨和研磨，同時避免晶片和加工部件的機械應力。EBARA FREX-300設有3個站點，每個站點都配備了特定的紡錘和研磨工具，便於快速更換工具以及定制的工具序列。此外，該機具有內置的氣流控制，確保晶圓表面處理過程中的最佳氣流。氣流控制消除了晶圓表面的灰塵粘附，避免了由於表面靜電而刮擦上部。為了獲得更好的精度，主要精密研磨和研磨一般與磨料漿料研磨分開進行。前者使用圓盤調節帶進行精密進料和磨削或拋光控制。磨料漿料研磨在潮濕的環境中進行，采用在線漿料進料工具，確保精密的漿料調節和精度。F-REX300具有預編程的研磨選項,可選擇粗磨、精磨、拋光、超平滑和鏡面拋光等研磨模式。該資產是一種全自動解決方案,旨在提高研磨過程的準確性和可重復性,並消除手動微調,減少操作員的錯誤。最後，采用減振器設計FREX-300，防止磨削過程中發生振動和其他與機器有關的問題。該型號設計環保、節能，並提供液晶觸摸面板顯示等功能，以提高操作員的便利性和準確性。