二手 EBARA Frex 300 #9008491 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 9008491
晶圓大小: 12"
優質的: 2002
CMP system, 12"
FREX300, Ox, STI, BPSG, POLY:
MPTI Head, 12"
Ceramic Tables/Tool
Buff Tables/Tool
Atomizer
Scan Dresser/Tool
MPM
Main Table:
Four Line Slurry Supply
Slurry Flow Range -250 mL/min
Buff Table:
(2) Slurry Lines
Chemical Line in Polisher Type-Lifter, Pusher, Turn Over
1st Cleaner Mega-sonic 1 (Swing type)
Loadport / FOUP Asyst300FLS3 / Entegris
Carrier ID / Wafer ID TIRIS model MPT17 RF tag / SEMI T7 dot Matrix, SEMI M12/13 OCR, SEMI T1-95
C-2220-099-0001 Air Operation Valve
C-2220-032-0001 Air Operation Valve
Tube
Misc Parts
(2) RECM1
System hardware
Slip out sensor
(2) AI Head G2S
Base System
Options:
MC/TOOL
S-OPM
(2) Tables
NOVA 3030 Dry
2002 vintage.
EBARA Frex 300是一款專業的晶圓研磨、研磨、拋光設備。它結合了先進的研磨、研磨和拋光功能,旨在處理最具挑戰性的晶圓精密表面處理應用。該系統利用一個專利的多軸模塊化單元，允許用戶定制其晶圓加工機，以根據其特定需求進行定制。EBARA FREX-300工具配置有一個堅固的主軸驅動器,可同時進行三軸移動和研磨、研磨以及可容納200 mm晶圓的拋光操作。它使用先進的夾具、工具和算法陣列,以實現更快、更高效的加工。它還具有一個全面的測量包，可用於執行一些與晶圓處理有關的分析任務。F-REX300還配備了一套強大的金剛石砂輪和其他工具，可高效、精確地加工晶圓。資產采用獨特的高級冷卻模式，確保性能一致，防止磨削、研磨、拋光操作過程中過熱。此外，還提供了一系列專用拋光劑，這些拋光劑在表面質量方面優於傳統拋光劑。此外，設備還配備了先進的工藝控制套件，使系統能夠精確控制和監控研磨、研磨和拋光操作。這樣可以實現一致的高質量性能和最小的浪費。此外,還提供了一個可選的高級工藝可視化單元來可視化和分析加工過程。F-REX 300晶圓研磨、研磨、拋光機是一種功能強大、先進的工具，非常適合處理最具挑戰性的晶圓表面。它旨在使晶片處理速度更快、效率更高、成本效益更高，使其成為精密晶片處理操作的絕佳選擇。
還沒有評論