二手 EBARA Frex 300 #9044488 待售
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EBARA Frex 300是為半導體工業設計的高精度晶圓研磨、研磨、拋光設備。該機提供機械和化學拋光能力，提供卓越的表面整理和平面化工件。EBARA FREX-300是一個具有完全SPC和FDC功能的自動化系統。它利用一個8軸運動控制單元，允許快速和精確的表面研磨，研磨，和拋光過程。該機可靈活配置為批量生產工藝或串聯生產線。該機器采用專利晶片懸掛工具，在研磨和拋光過程中牢固地固定晶片。F-REX300配備了可處理300 mm晶片的大功率驅動器頭,能夠在兩側進行磨削和拋光,其砂粒細至800G。它包括一個高精度的拋光墊，確保一個卓越的拋光表面光潔度。EBARA F-REX 300設計用於高循環速率的高精度、平滑的工藝結果。它具有若幹安全特性，包括碎片陷阱和光傳感系統，以獲得準確和可重復的結果。該機器由基於Linux的CNC計算機驅動，允許晶圓處理過程完全自動化。F-REX 300還配備了真空卡盤，用於可靠、可重復的晶片加載定位。該資產被設計用來處理各種各樣的晶圓材料，包括矽、砷化氙和金剛石。它還設計用於提供較低的設備維護和服務費用。此外,Frex 300還通過了Eco Mark認證,符合所有必要的環境和安全標準。FREX-300是一種集成的晶圓研磨、研磨和拋光解決方案,它將速度、精度和靈活性結合到一臺功能強大的機器中。EBARA F-REX300以其優越的表面修整和平面化，是滿足半導體工業生產需求的首選。
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