二手 EBARA Frex 300 #9142699 待售

EBARA Frex 300是一種精密晶圓研磨拋光設備，設計用於廣泛的加工要求。該系統采用了一種振蕩運動機構，可以對晶圓進行高效的研磨和拋光。該設計能夠提供小於1微米的重復精度。該單元還具有0至60 RPM的全變速控制功能。EBARA FREX-300適用於各種晶片類型和尺寸，從200毫米到300毫米不等。它被設計為能夠處理Si、GaAs、GaN、GaSb、InP、InSb、碳化矽（SiC）等一系列材料。它還兼容各種磨輪和不同的拋光材料，如金剛石漿料、拋光墊、研磨膜和微磨料。F-REX300配備了一個強大的變頻驅動器和一個降壓裝置，以保持所有RPM的最大扭矩。這臺機器確保了一個一致和有效的研磨過程，同時也防止了晶圓的過重壓力。它包括一個變速液壓工具，用於快速精確的晶圓定位。資產還具有用於控制外部冷卻模型的輸出。F-REX 300有一個框架幾何設計，以盡量減少振動和維持晶圓表面平坦度。該設備配有基板支架、研磨頭和研磨臂，用於晶圓的高效研磨和研磨。它具有多種安全功能,例如集成的E-stop,可在出現任何問題時快速停止機械。總體而言，EBARA F-REX300是一種用於精密晶圓加工的可靠、高效的晶圓研磨、研磨和拋光系統。它能夠高效處理各種晶圓尺寸和材料，重復精度小於1微米。此外,該設備還具有多種安全功能,以確保安全的操作環境。