二手 EBARA Frex 300 #9152437 待售

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EBARA Frex 300
已售出
ID: 9152437
晶圓大小: 12"
Tungsten CMP systems 12".
EBARA Frex 300是一種「晶圓研磨、研磨和拋光」設備,便於手動、半自動和全自動模式。它使晶片制造商能夠優化和簡化其操作,同時顯著降低與制備晶片以進行進一步處理或組裝的過程相關的成本和時間。EBARA FREX-300設計用於執行廣泛的操作,包括磨削、研磨和拋光直徑不超過6英寸的晶片。該系統由許多模塊化組件組成,可根據個人需要進行定制。主要部件為一個控制單元、一個磨頭和兩個拋光頭。控制單元是一個帶有液晶屏的觸摸面板接口,用於配置和監視流程。它還包括各種傳感器輸入和輸出,用於控制研磨和拋光頭的速度和壓力。磨頭是該單元的主要部件,其設計目的是磨損晶片的表面並使其邊緣更光滑。它包含一個高速主軸,可以調整速度和壓力,以確保一個一致和精確的研磨。兩個拋光頭用於光滑、整理、提亮工件。第一個頭是一個固定的拋光臂,第二個頭是一個振動拋光器,對工件施加更平緩,均勻的壓力。兩個頭部都裝有可調整的主軸,以增加和減少它們對工件施加的壓力。F-REX 300獨特、模塊化的設計,以及廣泛的可調整和控制範圍,使其能夠針對個別廠商的需求量身定制,並可用於許多不同的應用。它還提供了多種安全功能,如防止與旋轉頭意外接觸的門傳感器,以及緊急停止功能。另外,機器可以配備各種晶片支架,這樣不同尺寸的晶片就可以在一個裝置中進行處理。Frex 300是一種高效、經濟高效且可靠的晶片制備方法,用於進一步處理或組裝。
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