二手 EBARA Frex 300 #9163556 待售

EBARA Frex 300是由EBARA公司生產的自動化晶圓研磨、研磨和拋光設備。它是一種臺式機器,專為處理較小的晶圓尺寸而設計,使客戶能夠利用EBARA Group先進的磨損工藝技術。EBARA FREX-300可以磨削、搭接、拋光甚至熱敏且難以處理的晶片,表面光潔度優越,變形最小。F-REX300采用桌面設計，配備機械臂，可實現高速、精確的操作。手臂可以從底座傾斜，獲得各種材料和晶圓尺寸的最佳研磨角度。F-REX 300還包括一個保持大氣壓並防止過程中汙染的載荷鎖定室。磨削過程在密封不銹鋼容器內進行，該容器利用精密控制的磨料漿料將晶片表面磨削至所需的表面光潔度。砂漿進料和研磨墊的轉速都是可調的，允許通用的研磨和拋光策略。此外，磨床的頂蓋可以很容易地關閉並安裝有幾個真空配件。這有助於創造一個安全的環境，同時最大限度地提高表面光潔度質量。研磨過程是在精密控制研磨表面的閉環系統內完成的。該裝置有能力根據研磨後的表面光潔度對晶片進行分級。通過流體控制，研磨工藝可以實現單面或雙面晶圓拋光以及多個研磨循環。拋光過程采用可調節的液體供應和劑量。Frex 300設計了一種密封的拋光室，以防止拋光過程中的任何汙染。它也可以在有或沒有真空的情況下操作，從表面清除任何不需要的顆粒。EBARA F-REX 300是晶圓研磨、研磨和拋光的理想機器,可提供卓越的表面光潔度和最小變形。它使客戶能夠利用創新的EBARA公司先進的磨損工藝技術。