二手 EBARA Frex 300 #9224087 待售
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已售出
ID: 9224087
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
CMP System, 12"
Factory interface (FI)
Frame config: Metro
Polisher (L/R):
Polishing heads: 300mm AL Head, Gen. II
Endpoint: TCM & Friction
Platen type: Ceramic (SIC)
Platen speed: 10-150 RPM
Platen pad conditioner:
Scan dresser disc, 4”
Sweep driven
Slurry delivery: CLC Delivery
Slurry line 1: ASAHI 25-250 ml/min (Low flow rate)
Platen cooling flow monitor: TOKYO KEISO
Platen cooling temp monitor: User configurable alarm settings
Dresser DIW flow meter: Flow range 1.0-1.5 L/min
Atomizer
Cleaner:
Cleaner 1 type: Roller brush
Chemical delivery type: Chemical CLC 0.0-1.0 L/min (Alarm capability)
Chemical 1 Upper flow meter: 0.0-1.0 L/min
Chemical 1 Lower flow meter: 0.0-1.0 L/min
Spin rinse drier: Pencil brush
Chemical delivery type: Chemical CLC 0.0-1.0 L/min (Alarm capability)
Options:
Robot D / R / L: YASKAWA
Status lamp (RYGB, Front / Rear)
Monitor 1: Front
Monitor 2: Left side
Monitor 3: Right side
EPD Monitor: Right side
Communication:
Controller (Logic): VME
Controller (Process database): Touch panel
Hard disk not included
2004 vintage.
EBARA Frex 300是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，用於生產用於電子工業的薄平晶圓。該系統采用先進的數控技術，對研磨、研磨和拋光工藝進行精確控制。過程中的第一步是晶圓的研磨，用圈輪進行。膝蓋輪由高精度步進電機驅動，允許極其精確的研磨水平。第二步是晶圓的研磨，用滾珠軸承研磨板完成。研磨過程的速度和壓力由一個復雜的伺服控制單元控制，從而確保以最佳的質量實現所需的結果。第三步也是最後一步是晶圓的拋光，用金剛石拋光墊完成。金剛石拋光墊由無刷直流電機驅動，允許半自動拋光工藝。該電機的設計旨在提高工藝效率，並提供高質量的精加工。機器配有視覺工具，用於檢查晶圓的形狀和光潔度。視覺資產與精密數控運動控制模型集成在一起，允許對晶圓進行極其精確的操縱。數控設備還能夠調整研磨、研磨、拋光工藝的速度，確保達到理想的效果。EBARA FREX-300的設計目的是安全、高效地運行,並且操作人員的幹預最少。該系統配備了幾個安全功能，如電子互鎖門、緊急停止按鈕和精密的機器監控系統。該單元還配備了一系列確保最佳性能的功能，如高精度步進電機、強大的無刷直流電機、精密數控運動控制系統等。F-REX300還具有用戶友好的圖形用戶界面,使操作員能夠根據需要輕松調整和微調設置。
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