二手 EBARA Frex 300 #9244969 待售

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ID: 9244969
優質的: 2002
CMP System Standard head Integrated cleaner: Stage 1: (2) Roll / Roll sponges Stage 2: (2) Pencil sponges / SRD (2) Tables per tool Polish head per table Missing parts 2002 vintage.
EBARA Frex 300是用於微電子和光伏應用的最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備。它由全球領先的先進材料精密加工解決方案供應商EBARA Downstream Technology (EDT)設計和制造。此三軸加工系統具有內置的砂輪主軸和高效的拋光器/拉珀,可快速準確地獲得結果。它的剛性結構保證了高精度和重復性,使其適合從最精致的晶片擠出最大的性能。可用於磨削直徑從6英寸到300毫米的晶片。該單元適用於廣泛的材料,如矽、石英、藍寶石、玻璃、陶瓷和石英基電子。其強大的設計適用於大批量生產吞吐量,其卓越的生產率和成本效益有助於將不必要的成本和浪費降至最低。該機配備了最新的線性和旋轉運動系統,以及改進工藝產量和節省材料的先進軟件解決方案。為了保證精確的結果,它配備了雙光補償工具,補償不同的形狀誤差和角度設置。EBARA FREX-300還配備了專門的收集單元和智能除塵,最大限度地減少維護和停機時間。其他高級功能包括智能應變監控資產以提高可靠性,以及高級7英寸彩色液晶圖形用戶界面,可簡化操作。此外,該模型還具有先進的人體工程學特征,如360度旋轉磨頭易於操作,減振可提高精度,可調速度和溫度控制可優化生產效果。其集成的振動監測設備進一步確保了操作平穩,降低了操作過程中的振動。F-REX300是一種精密晶圓研磨、研磨和拋光的可靠高效的機器。它是生產高質量、低成本、降低報廢率和提高生產吞吐量的理想解決方案。
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