二手 EBARA Frex 300 #9252531 待售

EBARA Frex 300是一款高性能晶圓研磨、研磨和拋光設備，旨在滿足先進半導體行業的苛刻要求。它是一個非常精確和可靠的系統，包括一個最先進的磨頭，集成了一個強大的運動單元，先進的控制軟件和一系列復雜的研磨和拋光配件，以確保在一系列基材上一致和可重復的結果。EBARA FREX-300的磨頭裝有一個專有的金屬鍵金剛石磨輪，能夠以優異的表面質量、精度和吞吐量進行單步磨削操作。這個輪子能夠容納不同大小和類型的晶片，並且可以調整間隙大小以適應不同的晶片厚度。磨頭還提供垂直集成的伺服軸和旋轉軸，以實現高度精確的調整，並且它有一個5軸驅動機對運動進行微調控制。F-REX300集成的高級軟件允許復雜的周期規劃和流程設置,這些設置可以在工具上進行調整和存儲。這允許在各種應用中使用廣泛的研磨和拋光配方，讓操作員為其具體應用找到最佳選擇。該資產還具有基於PLC的控制模型，確保磨削和拋光過程保持一致。此外，F-REX 300還配備了一套研磨和拋光配件，使其能夠進行精細的拋光操作。這些配件包括一系列拋光泡沫、毛氈和紙張，可用於實現不同的晶粒尺寸和飾面。此外，該設備還包括金剛石漿料註入系統和復合分配器，以方便精磨、研磨和拋光操作。總之，Frex 300是一個功能強大、用途廣泛的研磨、研磨和拋光裝置，為先進的半導體材料和元件提供了精度、通量和可重復性。其全面的研磨、研磨和拋光配件套件使其在行業中具有顯著優勢,使其能夠以最佳的表面光潔度產生高度精確的結果。