二手 EBARA Frex 300 #9384035 待售

ID: 9384035
晶圓大小: 12"
優質的: 2002
CMP System, 12" Missing parts 2002 vintage.
EBARA Frex 300是為半導體晶片和其他薄晶片的批量生產加工而開發的精密、經濟高效的晶片研磨、研磨和拋光設備。這臺機器經過特殊設計,可在最小空間內提供高速研磨。EBARA FREX-300適用於在Si、SiC、GaAs等多種材料上生產超光滑、無缺陷的表面。該系統的核心是先進的研磨、研磨和拋光工藝,確保快速均勻的晶圓拋光。這個過程由三個順序階段組成;即研磨、研磨和拋光。在研磨階段,磨料顆粒經過高速旋轉,以納米增量去除材料。在研磨階段,磨料顆粒再次與精確的壓力結合進行高速旋轉,從而使材料的去除和表面變平達到最小程度。拋光階段涉及磨料顆粒的應用以及適當的壓力和材料去除,以形成高度拋光的表面。F-REX300還采用先進的模塊化設計,便於維護;它允許客戶為特定應用程序自定義其系統。該機配有高精度數控主軸,用於加工刀具的磨削操作。該機還具有溫度敏感的空氣軸承,可提供高速、精密的精密加工。EBARA F-REX 300的自動化裝卸機制、壓力調節和CCD檢測進一步加強了運行。機器還具有用戶界面,允許對過程進行完整的監視和控制,顯示設備的所有功能。總體而言,F-REX 300是一款功能強大的晶圓研磨、研磨和拋光機,專為薄晶圓的快速、經濟高效的加工而設計。其先進的研磨、研磨和拋光技術,加上其先進的設計特點,確保了各種材料的優越和精確的表面光潔度。
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