二手 EBARA Frex 300 #9384477 待售
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ID: 9384477
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
CMP System, 12"
STI
Polisher (Right / Left)
Cleaner
Dryer
Missing parts:
Front end robot
Load port
2004 vintage.
EBARA Frex 300是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於在包括矽、砷和石英晶圓在內的所有材料上進行臨界300 mm晶圓研磨、研磨和拋光。EBARA FREX-300易於使用,並配備了自動化晶圓制備技術的最新進展。F-REX300具有全自動晶片處理系統,確保了晶片的快速、準確的制備。它配備了強大的研磨、研磨和拋光模塊,能夠在晶圓上產生高度精確的表面光潔度。它利用高速旋轉的高精度主軸進行研磨、研磨和拋光。此外,F-REX 300還配備了可變研磨方向單元,可有效去除物料。使用可變研磨方向機,EBARA F-REX 300可以很容易地處理圓形和非圓形晶片。FREX-300還配備了自動感應和自動循環功能。自動感測特征的工作原理是檢測正在處理的晶片的類型及其大小和厚度。這確保晶片將根據其特定特性在最佳參數內進行處理。自動循環特性允許晶片從晶片裝載托架精確高效地轉移到研磨、研磨和拋光室,反之亦然。Frex 300專為提高生產力和效率而設計。它能夠在相同的工藝循環中處理大小晶片。它可以一次處理多個晶圓,每個循環最多10個晶圓。此外,EBARA F-REX300還設計用於低磨損、減少維護和延長使用壽命。在安全性方面,EBARA Frex 300具有晶圓處理和處理的5級安全工具。此外,該資產還配備了符合人體工程學設計的托盤,使其易於使用。這樣可以防止在加載和卸載過程中手動處理晶片造成任何潛在的傷害。總體而言,EBARA FREX-300是一種可靠高效的晶圓研磨、研磨和拋光模型.它專為單晶圓和多晶圓加工而設計,同時也實現了高精度和精確度。F-REX300的特點使其成為大容量晶圓生產的完美解決方案。
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