二手 EBARA Frex 300 #9390393 待售

EBARA Frex 300是一款先進的晶圓研磨、研磨、拋光設備，設計用於進行無缺陷、高精度、高均勻度晶圓的制備。該系統的創新技術提供了精密研磨、低損傷晶圓調節的組合,以增強表面均勻性,以及與其他加工步驟的簡單集成。利用一套先進的過程控制和自適應邊界控制技術，該單元將大大縮短晶圓調節過程的總循環時間。EBARA FREX-300配備0.25 µm單軸級、閉環控制、三點支撐、先進真空機等等。這可以實現高精度和高精度的表面拋光,同時還提供改進的晶圓離線放置和工藝可重復性。此外，該工具還可以使用自適應磨削、研磨和拋光模塊實現多步驟加工的自動化。資產的主要部件包括磨削和研磨頭、拋光頭、兩個手動和兩個電動旋轉階段、拋光膜、壓板和拋光溶液。通過將磨削和拋光頭與兩個手動和兩個電動旋轉級相結合，模型可以將拋光膜、壓板、拋光溶液同時應用到晶圓上。這樣可以最大程度地減少總循環時間,並確保均勻、高精度、高精度的調節。F-REX300還具有獨特的自適應邊界控制模塊。該模塊通過根據晶圓加工條件動態調整磨削、研磨、拋光窗口的極限，有效地縮短了整個循環時間。這樣可以確保低損傷晶片調節、高工藝重復性和可靠的晶片離線放置。該設備可集成到各種工業過程中，如蝕刻、抗蝕劑去除、塗層和光刻。所有這些過程都可以使用Frex 300輕松實現。此外，自適應邊界控制模塊可以通過軟件編程來控制過程邊界，為用戶提供完整的自動化過程自動化。EBARA F-REX300是一種先進的晶圓研磨、研磨、拋光系統，旨在提供高精度和優異的表面均勻性，同時仍提供工藝自動化。其自適應邊界控制模塊降低了循環時間和過程難度，同時進一步優化了晶圓調節。從調整流程限制到控制多個流程,FREX-300對於尋求業界領先和可靠結果的用戶來說是一個極好的工具。