二手 EBARA Frex 300e #293742057 待售
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ID: 293742057
優質的: 2006
CMP System
Dual module system
High throughput
Dry in / out system
Single head
2006 vintage.
EBARA Frex 300 e是一種自動化的高精度晶圓研磨、研磨和拋光設備，旨在為半導體、MEMS和LED器件行業中的各種基板提供卓越的表面光潔度、平整度和尺寸精度。該系統將最高的研磨精度與研磨和拋光功能結合在一起,為各種關鍵設備組件提供所需的精度。Frex 300 e的獨特之處在於其先進的「多步」工藝，消除了磨輪痕跡，確保了光滑的光潔度。優選的研磨工藝也可用於直接從沒有研磨等級的研磨中制造研磨晶片，如果需要的話。EBARA Frex 300 e的研磨和拋光階段由兩組電機控制獨立控制，允許對研磨和拋光循環進行同步和獨立的控制。拋光臺具有平磨和表面研磨的能力。磨削/研磨/拋光裝置配有3軸可編程表，允許晶圓研磨、研磨和拋光操作，無需手動操作。3軸表覆蓋了廣泛的工作區域（10mm-150mm）。在線GCP機器允許Frex 300 e實時監控和調整參數，使用戶能夠為每個晶圓制造作業優化研磨/研磨/拋光工藝。為了提供卓越的精密表面光潔度，該機采用了特殊的金剛石磨輪，以最小的磨削達到卓越的表面光潔度。金剛石磨輪經過專門設計，在裝置表面提供一致、均勻的砂礫輪廓。EBARA Frex 300 e利用適當的多步研磨工藝在嚴格公差範圍內實現尺寸和光學精度曲面。該工具還包括液冷研磨/研磨/拋光機構和數字PID溫度控制資產。這使機器能夠在相同的加工時間內提供卓越的冷卻效果和更快的研磨/研磨/拋光速度。該模型的設計架構還設計為便於升級和定制，因此用戶可以跟上半導體和器件行業的最新技術和趨勢。總體而言,Frex 300 e是一種自動化的高精度晶圓研磨、研磨和拋光設備,它將高級研磨精度與研磨和拋光功能結合在一起,為任何晶圓制造工作提供所需的精度。該系統配備了多種功能和特性,使用戶能夠以最短的時間、精力和成本實現卓越的精度。
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