二手 EBARA Frex 300e #293821657 待售

EBARA Frex 300 e是一種高精度晶圓研磨、研磨、拋光設備，設計用於半導體器件制造和精密去處理應用。該系統提供了由毯狀晶片制備的晶片,用於手動或自動處理,具有獨特的6軸運動控制單元,占地面積很小。該機采用3-Step研磨、研磨和拋光工藝設計。第一步涉及使用專有的砂輪進行晶圓研磨，從而實現細粒表面光潔度。第二步是研磨工藝，采用自動金剛石漿料分配機制。第三步是用超細金剛石粉末處理的拋光工藝，以獲得無缺陷的表面光潔度。此外，Frex 300 e工具采用先進的Motion Control算法設計，允許更高的精度和可重復的研磨、研磨和拋光工藝。這種先進的算法也適用於自動晶片裝卸。此外，該資產還允許廣泛的晶圓研磨、研磨和拋光，包括在高k介電材料上制備超光滑表面。為安全和維護起見，該型號采用了PLC（可編程邏輯控制器）設備，允許通過以太網接口進行遠程控制。這樣就可以方便地從中央計算機控制和監視整個過程。EBARA Frex 300 e系統還提供了一系列改進過程可重復性和控制的功能,包括用於磨削和拋光過程中恒溫監控的集成溫度控制器單元,以提高材料性能。該機還提供了一個實時3D可視化工具，在研磨和拋光過程中提供晶圓的視覺反饋，幫助確保精確研磨並獲得最高的工藝產量。總體而言,Frex 300 e是一種高精度晶圓研磨、研磨和拋光資產,專為半導體器件制造和精密去處理應用而設計。利用先進的運動控制算法、廣泛的晶圓制備選項、溫度控制和3D可視化功能,該模型將確保提高工藝性能和提高產量。