二手 EBARA Frex 300S #293591998 待售
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EBARA Frex 300S是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於陶瓷和晶體材料的精密加工。它在短處理時間內提供了可靠且可重復的結果,使其成為大批量制造先進元件的理想生產系統。該單元具有模塊化結構,使其能夠配置為滿足任何給定應用程序的特定要求。主要部件包括晶圓托架、轉盤、兩個研磨板、拋光墊和伺服控制驅動機。晶片載體設計用於在研磨和研磨過程中牢固地固定和定位晶片。它配有耐熱保護片,在研磨高熱膨脹材料時有額外的保護作用。此外,它還具有強大的設計,以確保在長時間的生產運行中保持有效。轉盤負責在晶圓磨碎時旋轉.它由連接到驅動帶的強大電動機組成,使轉盤能夠以0.7至2000 rpm的速度旋轉。轉盤可以調整以適應晶片的尺寸,並在加工過程中提供均勻的運動。這兩個研磨板設計用來研磨和拉緊晶片。研磨板有多種材料可供選擇,以便適合正在加工的材料。這些板由高級鋁合金制成,可承受高達35MPa的高壓。拋光墊用於將晶片材料拋光至精細光潔度。它由一個光滑、耐刮擦的表面組成,可以承受較大的載荷並提供高光澤的光潔度。最後,伺服控制的驅動工具提供了對加工過程的精確控制,確保加工參數達到所需的精度水平。資產還包括一個伺服控制的溫度補償模型,它根據材料的溫度自動調整操作參數。綜上所述,EBARA FREX300S是一種用途廣泛、可靠的晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於在短處理時間內提供精確和可重復的結果。它具有模塊化的構造,使其適合廣泛的應用,並配備了堅固的機械架構,具有長期的可靠性。
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