二手 EBARA Frex 300S #293625791 待售
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EBARA Frex 300S是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備。它是一個完全自動化的數控系統，能夠生產多晶體、多級和定制模式的半導體晶片。該單元配備了6軸運動機、數字視頻顯微鏡、閉環位置和壓力伺服器，以及帶有精密端效應器的專用機械臂。EBARA FREX300S旨在保持高水平的圓度、表面平整度和晶圓厚度精度。該刀具采用可調節壓力和進料控制的磨料磨削/拋光頭,使操作員能夠最大程度地控制加工工藝參數。機械臂可以在研磨過程中精確定位和處理晶圓。F-REX300S還提供了先進的研磨工藝，以確保高度的拋光精度。此過程包括將晶片鋸成初始形狀,然後將其磨削成成品尺寸。這一階段的過程是通過磨削/拋光頭的圓形運動來完成的，而皮帶磨床提供了高精度的精加工。EBARA FREX-300 S具有優異的表面光潔度和晶圓均勻性.它配備了數字視頻顯微鏡和光譜儀，用於監測表面質量、粒子分析和形狀輪廓。該資產還與各類拋光化合物和金剛石級懸浮漿液兼容。總體而言,EBARA FREX 300 S提供了高水平的自動化、準確性和晶圓質量控制,這對於將半導體制造過程中的缺陷率降至最低至關重要。F REX 300 S以先進的研磨和研磨技術相結合，在高質量半導體晶片的開發和制造方面是行之有效的行業領導者。
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