二手 EBARA Frex 300S #9095701 待售

EBARA Frex 300S是一種高精度晶圓研磨、研磨和拋光系統,旨在確保分層半導體晶圓上產生超光滑、無缺陷的表面。它由一系列模組製造，包括Grinder、Lapper、Polisher和Water Soluble Grinding Aid，提供濕法和幹法加工的完整加工選項。Grinder模塊采用先進的工程解決方案，如帶有電機扭矩控制的調節主軸和高精度的階梯式變速箱，在多種材料上實現優化和可重復的研磨工藝。它還受到熱保護,確保了可重復和可靠的性能。Lapper模塊使用振蕩臺式驅動器和細粒磨料來生產均勻清潔的晶圓表面。拋光器模塊通過使用拋光墊消除表面發現的任何缺陷或不規則性來提高晶片的表面光潔度。水溶性研磨輔助模塊有助於通過使用水溶性糊劑減少與反復清潔和維護研磨機和研磨機相關的時間和成本。EBARA FREX300S配備了非接觸式位移和位移傳感器等高級測試解決方案，以及工藝傳感器，以確保準確和可預測的結果。它被CE標記和UL列出，並且能夠與多種電源一起運行，包括日本通用（JPN）和韓國通用（KOR）型號。它具有用戶友好的圖形用戶界面（GUI），使操作員易於編程和控制。F-REX300S是需要精確度和可靠性的半導體制造設施的理想選擇。它的模塊化設計、先進的工程解決方案和用戶友好的界面,使其成為尋求高效可靠的晶圓研磨、研磨和拋光系統的制造商的理想選擇。