二手 EBARA Frex 300S #9137374 待售

EBARA Frex 300S是一種自動晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於微電子器件制造。該系統面向半導體器件拋光等應用，包括MEMS、傳感器和各種行業使用的光學元件。EBARA FREX300S通過自動化過程提供精確的控制,可產生卓越的表面飾面、關鍵尺寸和更高的可重復性。F-REX300S采用四柱設計的直線電動機驅動臺架，並為晶圓提供精確的定位驅動器。它配備了強大的45DFC-S拋光電動機，具有受控的研磨拋光工藝和晶圓裝卸參數。它在幾微米的水平上具有研磨精度，可以在2到8英寸之間研磨和合圈。Frex 300S具有旋轉研磨、自由研磨、金剛石研磨、低力拋光等多種研磨拋光模式。它帶有幾個定制的研磨和拋光附件，如凹面、多層、金剛石基研磨和電鍍軋輥研磨。其過程中控制單元允許操作員實時查看晶圓飾面，並監控液壓力、轉速和拋光時間等參數。FREX-300 S對用戶友好,因為所有操作、過程和調整都可以通過直觀的圖形觸摸屏界面進行。它配備了數據采集和分析機器，能夠更好地控制流程，改進部件跟蹤和文檔記錄。利用Procios技術,該工具能夠實現多任務應用,允許同時研磨、拋光和檢查多達10個晶片。FREX300S是一種先進、高效的晶圓研磨、研磨和拋光設備,可提供卓越的結果質量和用戶便利。憑借其自動化和可編程的特性、先進的技術以及直觀的控制模型，這種設備能夠為各種行業有效和可靠地生產出優越的晶圓元件。