二手 EBARA Frex 300S #9225525 待售

EBARA Frex 300S是一種全自動晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在提供最高效率和優異效果。這個系統可以通過一系列的研磨、研磨和拋光過程來處理廣泛的單面和多面晶片。EBARA FREX300S具有集成檢測技術，將自動檢測、定位和測量晶圓特征，引導用戶通過正確的研磨參數。為了清潔和安全起見，該裝置被封裝在不銹鋼和塑料外殼中。這種設計提供了防止灰塵、空氣中的微粒和其他汙染物的保護。所有接入點都配備了空氣過濾器和鏡子，用於對微粒和微粒進行視覺控制。為確保機器正常工作，外殼內裝有內壓傳感器和大氣壓傳感器。F-REX300S利用模塊化工具,結合了靜態和動態組件。這樣可以確保資產能夠容納50mm到400mm的晶圓尺寸。模型的靜態部件包括底座和框架、水箱、供水和水泵，以及壓力控制設備。動態組件包括高速電動機、伺服電動機、傳感器和光學系統、監視和控制計算機以及用戶界面。該設計允許用戶從各種研磨、研磨和拋光選項中進行選擇。研磨過程包括一個小的旋轉金剛石圓盤，應用於晶圓表面，去除表面不規則，並為任何連續的過程做好準備。研磨和拋光也可以通過使用磨料紙和金剛石晶片拋光墊的組合應用於晶片表面。用戶可以定制他們的流程，並通過集成的監控系統實時監控他們。通過使用該系統，用戶可以獲得最高質量、高精度的EBARA F REX 300 S交付。