二手 EBARA Frex 300S #9235714 待售

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ID: 9235714
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
CMP System, 12" (3) ASYST ISOPORT Polisher: (4) Tables (4-Head / 4-Platen): A, B, C, and D Retainer ring: EBARA OGR Head type: K-1406-033 Pad type: RION Disk: CW Cleaner: Turn-Over station Cleaner 1 Cleaner 2 Cleaner 3 Spin dryer Power box Robot With accessories Electrical requirements: 208 VAC, 60 Hz, 3 Phase, 3 Wire + Ground 2004 vintage.
EBARA Frex 300S是一種晶片研磨、研磨和拋光設備,專門設計用於加工超薄(小於0.5mm或20mil)晶片和薄膜。該系統采用三軸、計算機控制的研磨和拋光主軸,可同時配置最多四個研磨頭,以及雙軸研磨頭,使其成為多種應用的高度通用單元。EBARA FREX300S還提供了一系列選項,例如額外的磨頭、磨頭和專用的拋光頭,非常適合使機器適應特定的應用。F-REX300S具有剛性和剛性鑄造結構設計,可以在高速下進行一致和精確的處理。這進一步得益於其全自動晶片處理工具,該工具處理晶片對準、加載和卸載,以實現最大精度、效率和重復性。該資產還提供各種研磨和拋光介質,從碳化矽到金剛石,從3到100米μ磨料,提供靈活的選擇以滿足具體要求。該模型配有高精度伺服電機控制和數字數據反饋,能夠在最高速度下實現穩定準確的研磨和拋光效果。它還配備了可靠的冷卻設備,有助於優化研磨和拋光工藝。最後,FREX-300S具有用戶友好的界面和模塊化布局,是晶圓研磨和拋光應用在半導體、微電子和光學行業的理想選擇。
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