二手 EBARA Frex 300S #9245371 待售

EBARA Frex 300S是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，其設計目的是為半導體工業中使用的矽和其他電子材料提供精密表面整理。該系統按照嚴格的標準構建,經過精心設計,可提供出色的過程重復性和高吞吐量。該單元提供了研磨、研磨和拋光的精細平衡，以達到所需的表面精度、表面質量和設備性能。該機由研磨/拋光主軸、研磨夾具、研磨壓板、渦輪旋轉板和拋光頭組成。主軸由提供精確速度和扭矩控制的伺服電機提供動力。研磨夾具設計用於在研磨過程中將材料牢固地固定在適當的角度。研磨板用於將基板固定在研磨表面，以確保表面質量均勻。渦輪旋轉板具有高速拋光功能,可實現最佳性能。拋光頭是為各種材料設計的，在細膩的基板上提供精細的光潔度。該工具配備了一系列方便用戶的功能，簡化了研磨、研磨和拋光工藝。功能包括集成的監控資產、數字讀出顯示、數據記錄以及可選的激光幹涉儀測量功能。集成的監控模型可以實現準確的過程控制和最佳的過程重復性。數字讀出顯示以圖形方式顯示可根據需要調整的進程參數。數據記錄提供了該過程的準確記錄，可用於分析和完善未來過程。可選的激光幹涉儀測量功能提供比手動方法更高的精度。EBARA FREX300S是提供當今先進技術所需的高精度表面光潔度的理想工具。該設備結合了強大的研磨、研磨和拋光功能以及用戶友好的功能,使其成為實現半導體和其他電子元件所必需的準確性和質量的寶貴工具。