二手 EBARA Frex 300S #9293812 待售

EBARA Frex 300S是一種高精度、多功能的機器，可以在晶圓上同時進行研磨、研磨和拋光。該設備為4「至12」晶片提供全自動處理。其簡單高效的單體設計允許靈活的生產配置和最佳的地板空間利用率。該平臺為處理晶片提供了一個快速、準確和一致的解決方案。EBARA FREX300S采用高性能主軸電機的研磨系統,該電機配有氧化鋁研磨輪,在精加工過程中提供精確度和精確度,微裂紋或地下表面損壞最小。磨頭能夠振蕩，使其在晶片表面提供均勻的光潔度，晶片通過真空卡盤牢固地握住，以提供安全的放置和處理。研磨過程通過使用高精度側繞組滯後機構和可直接設置到工件高度的浮動楔形提供，允許在研磨時精確定位以達到高精度。采用反旋轉圈板進行均勻、可重復的表面精加工。F-REX300S通過使用具有可調速度和壓力的精密工程拋光器為拋光工藝提供手動操作,從而實現高效和可重復的結果。拋光機可以進一步在不同的方向配置，使其非常適合特定的拋光應用。F REX 300 S提供先進的用戶功能、全自動主軸和真空控制，以及集成的高精度直線電機和高精度測量系統，以確保精度、重復性和短周期時間。它還有一個用戶友好的觸控面板，多配方單元以及長期統計報告。總體而言,FREX-300 S是一種高效、經濟高效的研磨、研磨和拋光機,可提供高精度和一致的結果,非常適合各種晶圓加工操作。