二手 EBARA Frex 300S #9311817 待售
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ID: 9311817
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
CMP System, 12"
(2) Platens
(2) Heads
For SiO2
2004 vintage.
EBARA Frex 300S是一種晶片研磨、研磨和拋光設備,旨在提供高性能的晶片表面調節,同時確保準確、一致的結果。該單元自動化,方便用戶,便於調整和操作。該系統由一個完全可編程的柔性主軸和一系列高速主軸和模具組成,旨在解決各種晶圓調節過程。這包括磨削、研磨和拋光操作,具體取決於應用程序。主軸由三相矢量電動機驅動,在廣泛的研磨、研磨和拋光過程中提供高精度和無與倫比的性能。EBARA FREX300S配備Dremel型磨頭,用於中低速操作,以及頻率高達45,000 RPMS的高速主軸,用於中高速工藝。該裝置還具有可調節的重量,用於磨頭和磨輪平衡,以及用於在晶圓調節期間降低表面溫度的冷卻機。最後,該工具提供了一系列的運動能力,從手動操作到半自動和完全自動化。自動研磨選項允許對機器設置進行快速、準確的調整,從而提高刀具壽命和吞吐量。此外,F-REX300S設計有惰性腔室和真空資產,通過控制工作環境中的塵埃顆粒將對環境的影響降至最低。總體而言,FREX 300 S是一種高度通用的晶圓研磨、研磨和拋光模型,旨在為各種晶圓調節工藝提供卓越的效果。用戶友好的界面、可定制的應用程序和高級運動功能使設備成為任何表面調節器的強大工具。
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