二手 EBARA Frex 300S #9382430 待售

EBARA Frex 300S是一種先進的垂直主軸、旋轉臺式晶片研磨、研磨和拋光設備.該系統旨在在直徑達300 mm的晶片上實現精確的表面光潔度、平整度和圓度。該裝置專為工藝開發和大批量生產而設計，配備了兩臺磨削/拋光自動穿越臺，一臺磨料漿料輸送機，陶瓷粘結漿料應用工具和一臺去除染料的資產。所有這些組件都設計為協同工作以產生高質量和一致的精加工。系統的方法影響整個模型的設計.用戶友好的PLC（可編程邏輯控制器）允許方便的設置和測量。其人體工程學配置包括磨料漿料的受控電荷，以及旋轉臺的快速行程可調旋轉。旋轉臺由閉環步進電動機驅動,以實現精確、可重復的過程控制.旋轉臺的設計允許靈活微調以滿足基板形狀要求。它們還可以通過高級安全功能來防止磁盤損壞。磨料漿料輸送設備可確保將磨料漿料輸送到每個晶片。EBARA FREX300S包含兩個陶瓷粘結漿料應用系統，可以精確調節壓力、溫度和液體供應，以滿足特定的加工要求。去除染料系統提供了快速更換磨料的能力，而無需手動清除殘留物。F-REX300S是為提供卓越的性能和精確度的最高批量生產工作而設計的。該裝置旨在減少顆粒汙染的機會，並確保均勻的表面光潔度。該機設計簡單可靠，旨在提供一貫優越的晶圓表面質量。