二手 EBARA Frex 300S #9382441 待售

ID: 9382441
CMP System, 12" Process: WCMP 2005 vintage.
EBARA Frex 300S是一種完整的晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在以最小的維護提供高質量、可重復的結果。該系統在一個平臺上提供先進的受控研磨、研磨和拋光功能,從而可以精確控制整個過程。EBARA FREX300S設計具有堅固的框架和耐用的結構,以及易於使用的操作控制臺和用於存儲的板載隔間。該單元提供兩種研磨模式、兩種研磨模式和兩種拋光模式。在研磨模式下,F-REX300S使用高精度主軸,可容納最多三個研磨輪同時研磨。研磨過程完全由計算機控制,可以調整為使用多種材料。該機能夠檢測研磨機的功率,並自動調整速度和壓力,以達到最佳研磨條件。在研磨模式下,Frex 300S利用自動進給控制和變頻電機來牢固地固定每個晶片。機器還配備了手動進給模式,以確保每一個晶片一致、準確地研磨。這一過程通過使用空氣軸承得到進一步改進,該軸承允許晶圓在被研磨時自由移動。FREX 300-S的拋光模式旨在生產高質量、光滑的表面。這是通過使用真空卡盤和多個拋光盤來實現的。該工具能夠感知晶片上的壓力量,並根據需要自動調整拋光工藝的速度和壓力。拋光後,晶片自動卸載,準備檢驗。FREX 300 S是研磨、研磨、拋光晶片的強大、高效、可靠的資產。它易於使用的控件和可調的設置使得它成為任何晶圓處理應用的絕佳選擇。EBARA FREX-300S具有先進的特點和耐用的結構,是獲得優質、可重復、維護最少的效果的絕佳選擇。
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