二手 EBARA Frex 300S #9402500 待售

EBARA Frex 300S是一種半自動晶圓研磨、研磨和拋光設備，旨在支持生產高質量的半導體器件。該系統具有多種功能和附件,有助於提供出色的過程控制效果。該裝置的核心是一臺研磨/拋光電動機，能夠產生2至10千帕斯卡的力，其設計可提供高精度、可重復的研磨和拋光效果。電機配有步進電機控制，用於精確的力控制，允許精確的拋光壓力設置。修剪和端面完成模式可以編程到機器，提供關卡和傾斜拋光等高級功能。EBARA FREX300S還配備了用於均勻壓力、無間隙圈速和精確控制的真頂研磨工具。這種資產是專門為防止研磨模式的形成而設計的，並確保晶片的精細、均勻的精加工。真頂研磨模型還具有可變力控制能力，可實現精確穩定的研磨、研磨和拋光。此外，F-REX300S還具有手動和自動清洗和沖洗功能，以確保最高水平的清潔。設備包括大型水箱和過濾系統，允許最大清潔效率和最小晶圓損壞。儲罐裝有溫度控制單元，有助於減少汙染和腐蝕。EBARA FREX-300S還提供一系列過程監測和控制系統，如力監測、電流監測和晶圓映射。這些系統確保遵守所有必需的參數,確保最佳性能和可重復性。此外，FREX-300S與一系列計算機輔助軟件系統兼容，允許自動評估機器性能和數據記錄。總體而言，EBARA F REX 300 S是生產高質量半導體器件和晶圓的絕佳工具。該資產提供了多種功能,可幫助確保精密研磨、研磨和拋光,同時提供多種工藝監控選項。