二手 EBARA Frex 300S2 #9245370 待售

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EBARA Frex 300S2
已售出
ID: 9245370
CMP System (4) Heads (4) Chambers.
EBARA Frex 300S2晶片研磨、研磨和拋光設備是一種用於幹濕晶片研磨、研磨和拋光操作的高度先進的通用解決方案。該系統旨在滿足半導體行業嚴格的標準,可提供經濟的解決方案,在不犧牲工藝性能的情況下節省大量成本。EBARA F-REX300S2配備了獨立的兩輪主軸單元,可提供多種配置的自動研磨、研磨和拋光功能。架空電動驅動頭(MDH)和直接驅動單元(DDU)為每個車輪提供各自的電機,並提供獨立的控制機器,可精確控制研磨、研磨和拋光操作。該工具能夠允許可調節的旋轉速度和相應的研磨力,以適應各種尺寸的晶片,同時保持過程的可重復性和準確性。車輪的雙級主軸設計提供了卓越的工藝精度和定位精度。此外,資產還可以配置各種研磨板和拋光織物類型,以便在加工環境中具有靈活性。FREX-300 S2還提供了配備機械臂的MDH磁頭的選項,以便快速輕松地裝卸晶片。這樣可以通過減少人工和降低人力成本來實現更快的吞吐量。此外,該模型還配備了一個功能強大的過程控制器,能夠監測實時過程數據,顯示必要的參數,並從頭到尾提供對設備的全面控制。該控制器可存儲多達99種工藝配方以及監控和記錄工藝數據的能力,並提供工藝調整以確保拋光過程的均勻性。總體而言,F-REX300S2晶片研磨、研磨和拋光系統是處理半導體晶片的一種非常先進和可靠的解決方案,它提供了一種經濟高效的工藝,具有卓越的性能、數據準確性和工藝可重復性。憑借其通用的配置、可調節的速度和機械臂選項,該設備提供了滿足半導體制造商確切要求的必要技術解決方案。
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