二手 EBARA Frex 300S2 #9290831 待售

EBARA Frex 300S2是一種最先進的晶片研磨、研磨和拋光設備,設計用於容納各種尺寸的晶片並提供均勻的表面平整度。它具有三軸預對準系統，用於晶片的精確和可重復對準，以及用於精確晶片邊緣定位的高精度線性電動機進給單元。研磨和研磨階段采用精密金剛石輪和拋光墊的組合來光滑和平整晶片表面。EBARA F-REX300S2配備了分布式驅動機器,可獨立控制旋轉、傾斜和主軸轉速,以便根據應用程序適應最佳過程。為了保持晶片的均勻平整度和減少碟形和顫動，采用了先進的電動真空夾具。FREX-300 S2的其他功能包括防塵、空氣凈化外殼、精確的溫度控制、用戶友好的觸摸屏圖形用戶界面,以及用於增強過程控制的高級診斷程序。此外，該資產設計用於快速加載和卸載，提供可重復的單片和多片的內聯處理。總體而言，F-REX300S2是晶片快速研磨、研磨、拋光的絕佳選擇，因為它具有精確的運動控制、自動化的制造工藝和精確的溫度控制。FREX 300 S2在表面平整度和可重復性方面具有優異的性能,為各種晶圓處理應用提供了必要的精確度和靈活性。