二手 EBARA Frex 300S2 #9298514 待售

EBARA Frex 300S2是一款多功能、高性能的晶圓研磨、研磨、拋光設備。它是為了滿足半導體和其他微電子應用的具體要求而設計的，包括晶圓和基板的制備、稀化和後工藝平滑。EBARA F-REX300S2的精密設計具有高級功能和設計元素的獨特組合。工作室完全封閉，操作由易於使用的用戶界面控制。操作員可以通過大窗口查看研磨拋光過程。研磨系統包含一個穿孔板或「蜂窩」板，用於一批研磨和研磨多個晶片。這減少了處理多個晶片所需的時間,即使在小批量的情況下也是如此。內置安全門、風扇過濾器和氣閘的組合保證了無塵操作環境。每個FREX-300 S2所含的數字板式定位單元可確保在所有晶片和基板上的高精度和極均勻的拋光。具有精確直接驅動和滾珠軸承支撐的單個主軸電機的機器確保了所有磨削和拋光操作的最佳扭矩。這些特性使得EBARA FREX-300 S2適合加工各類晶片、基材和材料，包括Si、GaAs和特種材料。EBARA FREX 300 S2進一步融入了高級流程監控功能，並實時顯示所有流程參數，以及故障校正和數據記錄功能。磨削/拋光工具的自動校準使用戶可以輕松地為不同的應用程序調用和設置參數。該資產還包括一個PLC和交流伺服模型，用於敏感的監控和控制過程參數，以達到最大的生產率和準確性。總體而言，FREX 300 S2是晶圓研磨、研磨和拋光操作的強大、可靠和精確的設備。其先進的、易於使用的控件和高精度的運動控制使得它成為加工各種晶片和基材的理想選擇。