二手 ELB SCHLIFF SWDD030 #9305341 待售

ELB SCHLIFF SWDD030是一種低調的晶圓研磨、研磨和拋光設備.該系統設計用於晶圓的研磨和拋光，也允許研磨和拋光。ELB SCHLIFF單元可以處理尺寸為25.4-200 mm直徑、最小厚度為0.1 mm的晶片。所采用的技術是低接觸磨削和化學機械拋光技術的結合，促進了高精度、準確性和可重復性。ELB機采用電子雙軸氣體液壓臺,步進分辨率為0.002 ″ （0.051mm）。低接觸磨削主軸設置可確保最小熱量累積,並最大程度地減少晶片和機器上的應力,從而提高同心度和圓度。低接觸磨削技術保證了晶圓厚度均勻，最大限度地減少了傳統技術磨削時可能造成彎曲的殘余應力。拋光技術還采用了兩軸渦流控制拋光臺，便於晶圓的無對準拋光。此外，還采用了一種快速失衡的紡絲技術，以確保更高效的材料去除和更高的平均去除率。ELB SCHLIFF工具還包括多種單通道、三通道和三步拋光頭，使用戶能夠利用高工藝靈活性和完美的可重復性，非常適合研發部門以及具有高精度磨削和拋光要求的行業。提供了一種組合的離線調理工藝，允許在研磨和拋光作業之外進行磨料和晶圓清洗工藝，從而提高工藝靈活性和降低生產成本。SWDD030資產是一種高精度、低調的模具設備,非常適合半導體、MEMS和光電行業的一系列應用。該模型允許高精度、重復性和低材料去除率，為大規模、大批量生產提供高精度晶片。