二手 ENCO 9514506 #9221221 待售

ENCO 9514506是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於半導體材料的高效和精確處理。適合於矽、氙、砷化的半導體材料和各種性質的新型III-V材料。該系統由兩個可同時進行雙面加工的磨輪和兩個用於晶圓後加工拋光的拋光裝置組成。磨輪配有集成的電機調節器，用於轉速的可變調整，根據材料性能和所需表面質量，磨削臺階的轉速為0至1200 RPM。研磨站包括一個自給去離子水箱，用於在研磨過程中改善模具的水潤滑。該單元的設計目的是在粗糙度、粗糙度深度和表面質量值上提高均勻性,以實現結果的最大精度和可重復性。9514506機還包括亞微米過濾單元，以確保研磨過程中加工材料的清潔度。此外，該工具還包括一個綜合冷卻劑過濾資產，用於防止缺陷和損壞的工具。集成的用戶界面，具有模型級監控、過程控制和記錄功能等多種功能，允許改進過程執行和結果的可重復性。該設備還配備了自動晶片索引功能，用於晶片的點火和加載。該系統采用堅固的框架,專為最終結果的高性能、最大精度和可重復性而設計。此外，該單元設計用於自動維護工具，以改善工作的連續性。