二手 ENGIS EJ-300IN #9156519 待售

ENGIS EJ-300IN晶片研磨、研磨和拋光設備旨在為直徑達300 mm的硬質和半硬質晶片提供高效、精確的研磨和拋光。它旨在最大限度地提高重復性並減少手動拋光過程的停機時間。此自動化系統可實現多個晶圓並聯研磨、研磨和拋光。該裝置包括面向吞吐量的大型旋轉表面研磨機和多襟翼輪研磨機。旋轉式研磨機設計用於濕磨和幹磨。它配備了高度精確的機械驅動機，配有集成視覺工具，配有高效的真空臺，用於對樣品進行阻尼和冷卻。它具有一個匹配的金剛石輪，用於精確和一致的處理。內部測量設備可監控研磨過程參數,如速度、壓力和研磨時間。多襟翼輪磨床在提供高精度磨削和拋光的同時，實現了峰值生產效率。磨輪可以調節，在晶圓的整個表面上提供最佳的銳度和均勻性。滾輪將輪子壓縮到晶圓的表面，提供了整個晶圓的均勻研磨。研磨和拋光過程由EJ-300IN控制單元驅動。控制單元提供自動往復式端拋光段、自動晶片鎖存器/解鎖、自動晶片清洗和自動段速度控制。自動段速度控制允許用戶創建和存儲更精細的研磨和拋光設置。ENGIS EJ-300IN晶圓研磨、研磨和拋光模型具有高度模塊化和可定制的特點,便於集成其他制造工藝或產品。該設備還具有內置數據記錄系統和圖形用戶界面（GUI）,便於數據審查和分析。該裝置的設計具有自動防塵蓋和激光切割機維護等安全功能，確保高效、安全地進入工作區域。通過提供精密研磨和拋光功能,EJ-300IN晶圓研磨、研磨和拋光機可幫助降低人工成本、提高吞吐量和提高產品產量。