二手 ENGIS EJ-380 #9143445 待售

ENGIS EJ-380是一種最先進的晶圓研磨、研磨和拋光系統,旨在在直徑達8英寸的半導體晶圓上產生優越的表面光潔度和晶圓直線度。EJ-380利用一個專有的「Vibra-Jar」來實現一個旋轉的壓板和水平運動,從而產生一個平滑、一致、重復的交叉運動,適合單壓板或多壓板配置。ENGIS EJ-380具有金剛石磨削、磨料圈和壓力拋光的能力,並且具有最小的磨料轉換能力。自動化控制系統還包括數據庫參數存儲，允許用戶根據需要存儲和召回流程設置。EJ-380的主軸頭結合了專利、半永久性的結合金剛石圈和連續的金剛石裝飾周期，保證了出色的工件平整度和均勻性。包含的加工中晶圓直度測量裝置可確保盡可能高的產量。其他功能包括主軸頭在處理過程中的監視功能,以便在檢測到異常振動或過熱時檢測到操作員並向其發出警報,以及自動停止功能,以防止由於零件公差問題而造成任何可能的損壞。ENGIS EJ-380為每個獨特的過程步驟提供了完整的可編程性,包括壓力、速度、重叠和停留時間設置。操作員友好的控制界面還為所有系統提供直觀的圖形菜單驅動界面，包括引人入勝的圖形和觸摸板控件。EJ-380設計用於自動檢測和存儲晶片內邊緣和外邊緣的零件參數,從而實現連續晶片運行的每個操作的精確可重復性。ENGIS EJ-380設計方便維護，配有長壽命聚氨酯磨損板和夾具，確保操作員安全。Vibra-Jar也很容易更換,無需任何工具或固定裝置。通過板載診斷功能,EJ-380可以在運行過程中快速重置所有進程設置,從而進一步防止發生任何可能的故障。ENGIS EJ-380的耐用可靠的結構，保證了較長的工作壽命和優越的晶圓研磨、研磨和拋光性能。