二手 ENGIS EJW-1200EFN-4AL #9224525 待售

ENGIS EJW-1200EFN-4AL是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,專為要求苛刻的生產應用而設計.它能夠每小時處理多達1500個晶圓，單程可研磨多達500個晶圓，該單元有四個可互換的主軸，可以精確處理相同或不同尺寸的晶圓，包括200、300、350和500毫米。每個主軸可達到+/-0.001mm的保持公差,並具有閉環伺服電動機,以提高精度和結果的可重復性。四個模塊化和循環式腔室可實現快速設置和轉換時間,並獲得專利的連續平整線處理系統可確保均勻平整。高性能，低振動的設計，使得一個非常安靜的機器，和角度噴嘴提供出色的晶片邊緣保護。模塊化和再循環腔室還可以方便地維護其鉸鏈蓋和重型真空鼓風機。該設備配有高性能的高級流程控制器,配有大型彩色觸摸屏顯示屏,易於使用和高級功能。它具有能夠實時處理和位置控制的數據采集機，結果以圖形方式顯示在同一個顯示窗口中。此外,控制器還允許遠程診斷和故障排除,以及遠程進程設定點和電機參數。該工具安裝在高度耐用的不銹鋼框架中,可提供出色的保護,防止高溫過程造成的腐蝕和磨損。集成的上部冷卻設備可確保加工表面的有效耗散,從而延長模型的使用壽命。EJW-1200EFN-4AL是大批量加工各種中大直徑晶片的理想選擇。