二手 ENGIS EJW-380-1 #9257673 待售

ENGIS EJW-380-1晶圓研磨、研磨和拋光設備旨在提供一種在各種類型的半導體材料上生產超光滑表面的快速、經濟的手段。該系統采用兩軸伺服控制的前導主軸驅動器,可在一個周期內實現高精度表面研磨和拋光。主軸傳動使用直流電動機同時進行低速和高速運行。該裝置可采用各種參數進行編程，如磨削和拋光壓力、主軸速度、步長、切削深度等。此外，主軸傳動可以適應不同尺寸和形狀的醫療材料，同時保持最佳研磨效果。該機配有振動脈沖拋光工具，用於表面粗糙度的細化。對於不同類型的基板,此資產能夠實現非常低的表面粗糙度（Ra ≤ 2nm）。該模型由人機界面（HMI）控制，並配備在線診斷和自我監控能力。該設備具有防音罩、自動除塵系統、滅火系統和空氣過濾器等安全功能。EJW-380-1采用不同的研磨和拋光工具，包括皮帶砂漿、拋光漿料、金剛石漿料和金剛石漿料。這種組合有助於減少研磨時間，提供出色的無刮擦效果。該系統還包含一個用於精確晶圓厚度測量的高度精確的校準單元。該校準機包括一種自動補償後磨削深度的數值控制.ENGIS EJW-380-1工具易於操作和維護。資產可以與其他現有系統集成，也可以作為獨立模型使用。EJW-380-1具有高性能、高精度、安全特性和易於使用的控制系統,是各類半導體材料超光滑表面可靠生產的理想選擇。