二手 ENGIS EJW-400IFN-D #9207340 待售
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ENGIS EJW-400IFN-D晶圓研磨、研磨和拋光(WGLP)設備是一種全自動機器,設計用於制備半導體晶圓,用於高精度、高產量的應用。該系統是為最大的效率和可靠性而設計的。它可以長期降低成本,同時改進可重復的結果。該單元從三軸數控磨削開始,以產生具有目標尺寸的均勻曲面。接著是單軸高速研磨級,以確保晶圓表面的平行性和平坦性。EJW-400IFN-D上的磨輪由高扭矩馬達提供動力,而單獨的驅動控制磨輪,確保精確的運動。這允許快速和精確的操作。接著,機器進行回磨以增加材料的去除和晶片邊緣的最小應力.該方法最大限度地提高了拋光精度,減少了不必要的材料去除。這臺機器采用全自動操作,配有光學反饋工具.這樣可以確保整個晶片上均勻的層厚度。最後,拋光的晶片被轉移到拋光站。該站專為高精度拋光而設計,采用特殊的磨料泡沫和噴霧資產。該模型采用高精度光潔度,泡沫和噴霧設備可保護晶片在拋光過程中不受損壞。最後,ENGIS EJW-400IFN-D是一種全自動、先進的晶圓研磨、研磨和拋光(WGLP)系統.它提供了一個高效、成本效益高的過程,具有可重復的結果。該裝置是為長期的性能和可靠性而設計的,同時還提供了用於向晶片邊緣施加壓力的後磨,以及用於實現高精度的快速而精確的拋光。
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