二手 ENGIS EJW-400IFN #293638669 待售
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ID: 293638669
晶圓大小: 4"
優質的: 2014
CMP System, 4"
SiC and GaN
Air pressure: 0.4 MPa
Accessories / Consumables
Manual
Power supply: 200 V, 3-Phase, 20 A
2014 vintage.
ENGIS EJW-400IFN晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種先進的、完全自動化的單步協同機器,旨在滿足半導體行業的最高精度要求。它具有兩(2)個獨立的高扭矩電機、直觀的屏幕控制系統和可互換的多軸可編程平臺。該裝置非常適合生產的破土的進步在纖薄的輪廓和輪廓磨削,拋光先進的工藝技術支持。該機器采用創新的高分辨率表面光潔度技術提供精確的結果,能夠處理6英寸以下的晶圓尺寸,以及各種基材。它配備了開放式主軸設計,能夠在濕磨或幹磨過程中實現輪式自動更換,以及閉環分類控制(Close-Loop Classification Control,CLCC),高效分配車輪修整、車輪選擇和車輪磨損控制。CLCC還有助於保持車輪的研磨速度和晶粒分布,從而獲得高度精確的結果。該工具是完全自動化的,提供了預編程研磨和研磨循環的能力,並附帶了一個獲得專利的多軸平臺,該平臺便於自動更換車輪。該資產提供高達0.01mm的速度精度和高達8個同時軸的單個研磨/拋光操作。它還具有先進的Vision模型,它提供了極其詳細的成像功能來檢測表面的不規則性,以及強大的空氣回收器功能,可減少空氣中的顆粒-在清潔、無汙染的環境中進行輻射。EJW-400IFN配備了符合人體工程學設計的A.O.S.(可調操作設備)、各種基板固定技術(SRT),可確保在研磨、研磨和拋光過程中快速準確地改變位置,以及直觀的控制系統(SixDoF Automation++),可輕松操作和輕松控制單元環境。此外,該單元還與環境監控器集成在一起,用於控制和監視流程條件。ENGIS EJW-400IFN晶片研磨、研磨和拋光機是一種先進的解決方案,它提供了最高精度和精確度的工具來滿足半導體工藝技術的復雜需求。它是在薄型輪廓和超細型材磨削、研磨和拋光方面產生高質量效果的理想工具。它具有先進的功能、簡單的集成和經濟高效的操作,是批量生產的理想選擇。
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