二手 ENGIS EJW-460SFN #9143438 待售

ENGIS EJW-460SFN
ID: 9143438
優質的: 2002
Lapping system 2002 vintage.
ENGIS EJW-460SFN是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於制造和生產半導體、光子學和光學等多個行業的超精密元件。EJW-460SFN是一個多功能多用途的系統,能夠用一臺機器進行晶圓研磨、研磨和拋光操作,從而為用戶提供了極大的便利和效率。ENGIS EJW-460SFN單元具有用戶友好的圖形軟件界面,由10.4英寸TFT觸摸屏操作。這樣可以方便地導航和編程晶圓研磨、研磨和拋光操作。此外,非易失性內存可在發生電源故障時增強數據安全性,從而實現快速恢復。EJW-460SFN機配有直徑200毫米的臺式正弦梳理裝置,為大型300毫米晶片的研磨和拋光提供支撐。多個晶片研磨主軸可用於支持並行和批處理模式下的多個晶片的處理。晶圓研磨主軸與研磨和拋光墊結合使用,旨在完成晶圓的最小表面粗糙度為0.2µm Ra。該工具配備了全套傳感器,包括自動聚焦和工件傳感器,以確保高精度和一致的結果。資產還包括高速研磨圓盤,以減少晶圓到晶圓的循環時間。利用其兩級水冷模型,ENGIS EJW-460SFN能夠提供穩定高效的表面光潔度。最後,EJW-460 SFN的人體工程學設計也因其舒適的控制面板和與FOUP兼容的元件而減少了操作員疲勞。該設備占地面積小,安全性能增強,是晶圓研磨、研磨和拋光應用的理想選擇。
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