二手 ENGIS FL-15 #293592372 待售

ID: 293592372
Lapping system.
ENGIS FL-15是一個強大的晶圓研磨,研磨和拋光設備.它旨在滿足當今晶圓制造工藝的苛刻要求。除了蝕刻和去除氧化物等先進工藝外,其能力還包括用常規和最小的晶粒金剛石磨料研磨晶片和薄膜。該裝置包括一系列技術,包括化學機械平面化(CMP)、研磨和雙面拋光,具有研磨、研磨和拋光直徑達300毫米的晶片的能力。FL-15專為需要快速周轉時間進行晶圓拋光的高產量而設計。ENGIS FL-15具有主軸,由用於精密研磨、研磨和拋光操作的重型軸承結構支撐,並配有高精度空氣軸承主軸,能夠在非常窄的公差範圍內產生出色的研磨效果。FL-15的獨特設計和結構使集成真空系統能夠確保準確的零件對準,從而實現所有晶圓尺寸的最高精度研磨、研磨和拋光。ENGIS FL-15還配備了數字觸摸屏控制器,提供簡單、直觀的接口,以高效管理整個過程。該單元還包括許多附加功能,如配方、庫、用戶/組訪問權限,以及監視和調整參數(如機器速度和力)的功能。集成的操作員安全工具提供多級驗證和訪問控制。FL-15具有一系列內置功能,旨在確保最精確的研磨和拋光工藝。拋光墊的自動對準、工件托架的固定夾緊以及對外部幹擾的保護等特點使其成為加工陶瓷、金屬和塑料等先進難以加工材料的理想選擇。ENGIS FL-15是高容量晶圓研磨、研磨和拋光的強大而可靠的資產。由於設備的創新功能,例如直觀的觸摸屏控制器、增強的自動化和多種安全級別,可以實現高精度的研磨、研磨和拋光效果。通過廣泛的可自定義設置,FL-15可以適應各種晶圓生產應用,增加生產時間,確保零件的最高質量,同時保持安全標準。
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