二手 ENGIS FL-24V #9259337 待售

ENGIS FL-24V晶圓研磨、研磨和拋光設備是為生產解決方案和研發應用而設計的全自動系統。該單元能夠在直徑不超過200 mm的晶片以及不超過6 「x 6」的基板上產生平坦、一致的表面。機器配置有兩個加工區域，一個主研磨區域和一個單獨的拋光區域。研磨區有一個頻率高達10,000 rpm的24Vdc主軸電機。這允許晶片的精磨和調節。調節過程消除了較小的曲面非均勻性。經過研磨過程，晶片在拋光區加工。拋光區還使用頻率高達3,000 rpm的24Vdc電動機,以確保高度精確和一致的拋光過程。為了實現一致的表面飾面,該工具配置了一個能夠檢測小劃痕的觸摸敏感觸控筆模塊。此外，數字顯微鏡與資產結合測量表面光潔度。這種顯微鏡為用戶提供了表面的監控圖像，允許他們在需要時采取糾正措施。作為FL-24V模型集成設計的一部分，整個研磨拋光過程是自動化的，可以根據用戶設置的參數編程為啟動和停止。這樣可以消除與手動流程相關的猜測,並確保實現可重復性。此外，設備還配備了空氣浮表，用於懸浮晶片或基板，從而實現穩定的研磨和拋光工藝。這有助於確保最終產品的質量在不同批次之間保持一致。ENGIS FL-24V晶圓研磨、研磨和拋光系統是用於生產和研發應用的可靠、先進的解決方案。設備的集成設計可確保用戶獲得一致、精確的表面光潔度,同時消除與手動過程相關的猜測。