二手 ENGIS JAPAN EJW-1200EFN-4AL #9208902 待售

ENGIS JAPAN EJW-1200EFN-4AL晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種全自動、高性能的系統,旨在實現各類半導體和MEMS晶圓的卓越表面光潔度和平整度。該單元配有四（4）個可編程研磨/拋光頭，每個頭可進行16種不同的研磨/拋光操作，總共64種可能的組合。機器還包括兩（2）個研磨位置，以較高的速度在晶圓表面上達到優越的光潔度。EJW-1200EFN-4AL具有直觀且用戶友好的圖形用戶界面（GUI）,用於編程、監控和故障排除。該工具還通過多種界面利用觸摸屏控制資產,既提供幹凈的用戶界面,又提供直觀地編輯現有流程或設置新流程的工具。該車型還配備了多種安全功能，包括安全門互鎖設備，以及溫度和濕度傳感器。此外,還對系統進行了測試,以確保與各種基於GR-和MQ的標準工作臺和載荷幻燈片兼容。該單元利用線性驅動的往復運動來進行車輛運動，並利用線性驅動的索引機制為研磨和研磨階段提供多達512個可編程的位置和/或設置。該機能夠研磨和研磨薄至20微米厚度的晶片，總直徑範圍為25毫米至300毫米。該工具還允許各種不同的質量保證參數,包括測量任意作業時間、端點、已完成作業數、總光柵、總重磨以及各種其他參數的數據的能力。該資產的設計符合ISO9001:2015要求,並提供經過認證的更換部件。此模型能夠執行多種過程,包括表面拋光、1/4和1/2俯仰角研磨、反角研磨和軌道混合。