二手 ENGIS JAPAN EJW-460SFN-ARSll #9208850 待售

ENGIS JAPAN EJW-460SFN-ARSll是一種高性能晶圓研磨、研磨和拋光設備。它旨在為超精密晶片的超平磨、研磨和拋光操作提供高效、精確的解決方案。該系統采用整體式設計，將所有機器部分整合到單個剛體中，以獲得更高的精度和精度。它包括一個專利環狀不銹鋼框架和一個高速精密傳動單元由數控步進電機驅動。該框架由激光分級交叉滾子導軌支撐，為動態研磨和拋光應用提供了卓越的定位精度。內置的主軸箱和尾架允許有效的單面研磨、研磨和拋光整個晶片的過程，而無需轉動它。它還具有兩個5mm至65mm的磨輪、兩個25mm至495mm的研磨輪和一個200 mm的研磨拋光臂，每個臂都有自己的專用工作平臺。車輪和手臂可以在一系列不同的應用中精確調整0.1µm的間隔。該機還配備了使用激光幹涉儀實時測量晶圓輪廓的高精度測量工具。它與研磨和拋光工藝集成在一起，以提供晶圓性能的準確反饋，並確保最佳精度和準確性。其他功能包括高速輸送資產、自動裝卸、先進的自動防護系統以防止緊急情況,以及方便用戶的HMI,可方便操作。總體而言，EJW-460SFN-ARSll是晶圓超精密平磨、研磨和拋光的有效和可靠的模型。憑借其快速、準確的響應、高性能和精確的測量設備，它能夠每次都提供優越的效果。